Semiconductor
Số hóa fab bán dẫn theo chuẩn SEMI E10/E79/E58 và cleanroom ISO 14644
Hai sản phẩm CMMS và OEE được chuyên hóa theo chuẩn SEMI E10 (6 trạng thái thiết bị), SEMI E58/E116 (tự động hóa RAM), SEMI E79/TEEP (hiệu suất fab), và SECS/GEM/GEM300 (E87/E90/E94) — bám sát cách một fab thật vận hành, từ cleanroom đến lịch bảo trì phối hợp dòng WIP.
SEMI E10 (RAM/Utilization)SEMI E79 (Fab OEE)SEMI E58 (ARAMS)SECS/GEM/GEM300ISO 14644 (Cleanroom)
Chuyên hóa theo sản phẩm
CMMSHệ thống CMMS cho fab bán dẫn — 6 trạng thái SEMI E10 và cleanroomMột kỹ thuật viên đổi trạng thái máy hỏng sang 'Standby' để giấu downtime — CMMS ghi nhận máy vẫn tốt trong khi thực tế đang hỏng hoàn toàn. Đây là lý do CMMS fab không thể tách rời SEMI E10.Đọc bàiOEEHệ thống OEE cho fab bán dẫn — khi một điểm số không đủ ở cấp nhà máyMột máy quang khắc EUV đạt OEE 85% xuất sắc — nhưng TEEP chỉ 18% vì fab mới chạy 1 ca. CFO cần cả hai con số để quyết định đúng: mua thêm máy hay mở thêm ca.Đọc bài